隨著現(xiàn)代科技的日新月異,發(fā)達(dá)國家紛紛實(shí)施再工業(yè)化戰(zhàn)略、數(shù)字化、智能化技術(shù)深刻地改變著制造業(yè)的生產(chǎn)模式和產(chǎn)業(yè)形態(tài),加上新材料、新能源等技術(shù)的重大突破,將引發(fā)新一輪科技和產(chǎn)業(yè)的變革。尤其是在高新技術(shù)產(chǎn)品的加工生產(chǎn)過程中,如何來滿足加工的精密化、產(chǎn)品的微型化,高純度(高質(zhì)量)、高可靠性的需求等問題,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境中的潔凈等級(jí)提出了更高的要求。另外一方面,隨著現(xiàn)代生物醫(yī)學(xué)的發(fā)展,對(duì)無塵車間中細(xì)菌數(shù)目、微生物污染的控制問題要求也不斷提高,以保證醫(yī)療醫(yī)藥、生物研究、食品生產(chǎn)等行業(yè)不受微生物污染或感染。目前,潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制、由于各行業(yè)間差距較大,且要求不同,因此控制環(huán)境的內(nèi)容、指標(biāo)均不相同。
下面就常見的行業(yè)對(duì)的要求進(jìn)行總結(jié),具體如下:
1、半導(dǎo)體、芯片、集成電路生產(chǎn)的無塵車間要求
國家大力支持發(fā)展半導(dǎo)體,半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問題。
芯片從上世紀(jì)50年代發(fā)展至今,大致經(jīng)歷了三大發(fā)展階段:在美國發(fā)明起源-在日本加速發(fā)展-在韓國與中國臺(tái)灣成熟分化。前兩次半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移原因分別是:日本在PCDRAM市場(chǎng)獲得美國認(rèn)可;韓國成為PCDRAM新的主要生產(chǎn)者和中國臺(tái)灣在晶圓代工、芯片封測(cè)領(lǐng)域成為代工龍頭。如今中國已成為全球半導(dǎo)體最大的市場(chǎng),在強(qiáng)大的需求和有力的政策推動(dòng)下,芯片行業(yè)正迎來第三次產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移,向大陸轉(zhuǎn)移的趨勢(shì)已不可阻擋。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān),而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此,集成電路的高速發(fā)展,不僅對(duì)空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求,而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù);同時(shí),對(duì)于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。