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無塵車間為何要控制溫濕度?

作者:超級(jí)管理員 瀏覽量:471 來源:本站 時(shí)間:2022-05-04 13:02:44

信息摘要:

無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,首選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度

無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,首選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度?!穸冗^高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

然而對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:

1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。

3潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

對(duì)于亂流潔凈室 由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;

1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。

2.吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。

在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的

垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s

水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s

以上就是廣州科凌凈化工程公司淺析無塵車間為何要控制溫濕度。希望對(duì)你有所幫助。我們專業(yè)從事:無塵車間 化工程 潔凈廠房 凈化車間 無菌車間 凈化廠房 無塵廠房 食品無塵車間 半導(dǎo)體無塵車間 醫(yī)療制藥凈化工程 生物實(shí)驗(yàn)室凈化工程 電子光電凈化工程 醫(yī)療潔凈工程 實(shí)驗(yàn)室凈化 手術(shù)室凈化 無塵車間裝修 凈化車間裝修 凈化工程裝修 GMP凈化車間 廣州凈化工程公司 中央廚房裝修 醫(yī)用醫(yī)藥冷庫 廠房凈化工程 實(shí)驗(yàn)室凈化工程 廠房凈化裝飾 實(shí)驗(yàn)室改造工程 廠房凈化設(shè)計(jì) 車間凈化工程 數(shù)據(jù)中心機(jī)房裝修。更有無塵車間設(shè)備、設(shè)計(jì)、安裝、維修等全方位服務(wù)。歡迎訪問我們的官方網(wǎng)站:http://m.rtcmes.com。


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