無塵車間，凈化工程施工工藝要點無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點：對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效過濾器三級過濾器；中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。

1）、 土建工程結(jié)構(gòu)完工，復(fù)核結(jié)構(gòu)工程地面水平度、符合要求

2）、 首先對現(xiàn)場進(jìn)行總體平面劃線放樣，

3）、 安裝詳圖在現(xiàn)場進(jìn)行實際尺寸的復(fù)核；

4）、 對整個車間，風(fēng)、水、電、工藝、設(shè)備、自控儀表等各個專業(yè)，及與車間結(jié)構(gòu)相關(guān)的安裝進(jìn)行全方位三維立體系統(tǒng)排布，并充分考慮安裝及今后維護(hù)保養(yǎng)；

5）、 裝飾表面應(yīng)擦拭干凈，漆面無刮痕、毛刺、膠痕，墻板及吊頂面應(yīng)牢固、平整、無晃動。

6）、 參照冷庫板的安裝方式，嚴(yán)格控制冷橋形成。無塵車間

7）、 密閉門開啟應(yīng)輕巧、靈活、可靠，關(guān)閉后應(yīng)保證密封狀態(tài)。

8）、 各手動門也應(yīng)開啟輕巧、靈活、可靠。

9）、 各燈具應(yīng)能正常開啟，保證潔凈室、潔凈走廊燈光明亮。

10）、 各洗手池安裝排放整齊、美觀，各水龍頭能達(dá)到工作狀態(tài)，無漏水現(xiàn)象。

11）、 各個潔凈室應(yīng)急電源能達(dá)到正常工作狀態(tài)，動作靈敏、可靠。

12）、 墻面安裝完畢后進(jìn)行高效箱的安裝，然后進(jìn)行頂板、燈帶安裝、前后門窗安裝；

13）、 鋼墻體進(jìn)行工廠化制作加工，板面的平整度縱、橫不得大于0.5mm；

14）、 鋼板墻體的垂直度2m內(nèi)偏差，不得大于3mm，水平偏差2m內(nèi)不得大于3mm；

15）、 嚴(yán)格控制預(yù)制彩鋼板墻的留孔尺寸與現(xiàn)場安裝的尺寸的吻合；

16）、 鋼板頂?shù)牡跫荛g距必須小于2.5m，并采用可調(diào)式吊架；

17）、 嚴(yán)格焊接的工藝操作，控制焊接質(zhì)量；

18）、 施工場地用水、電等臨時設(shè)施，能滿足施工要求

19）、 現(xiàn)場管理 制定凈化區(qū)域施工管理制度，控制人物流造成的區(qū)域污染。

20）、 定位放線：依據(jù)圖紙給定的尺寸，先彈出各潔凈廊隔墻的龍骨外包線（軸線減隔墻厚減外飾面奪厚），燈具、設(shè)備開孔處的尺寸，安裝部門書面提供并協(xié)助放線；無塵車間

21）、 材料進(jìn)場 潔凈廠房構(gòu)件應(yīng)按施工進(jìn)度計劃要求，運抵安裝現(xiàn)場，輕搬輕放，避免劃傷，并分類整齊堆放，嚴(yán)加保管。

22）、 測量放線 嚴(yán)格對照施工圖，現(xiàn)場測定軸線，標(biāo)高尺寸，清理安裝現(xiàn)場，準(zhǔn)確放出大樣。壁板安裝前必須嚴(yán)格放線，墻角應(yīng)垂直交接，防止累積誤差造成壁板傾斜扭曲。壁板的垂直度偏差不大于0.2%。

23）、 材料檢驗：潔凈室構(gòu)配件材料安裝前，嚴(yán)格檢查其規(guī)格性能和完好程度，不合格或已損壞的構(gòu)配件材料嚴(yán)禁安裝。

24）、 結(jié)構(gòu)連接：在施工安裝時，應(yīng)首先進(jìn)行吊件、鉚固件等與主體結(jié)構(gòu)和樓面、地面的連接件的固定。

25）、 隱蔽驗收：在凈化室安裝的施工過程中必須隨時清掃灰塵，對掩蔽空間的清掃應(yīng)做好清掃記錄。

26）、 現(xiàn)場清理：安裝現(xiàn)場必須隨時保持清潔，無積塵，并在施工過程中對零部件和場地隨時清掃、擦凈。

27）、 成品保護(hù)：加強(qiáng)成品保護(hù)教育，對已安裝的成品，或半成品嚴(yán)加保護(hù)，防止被污染及損壞。嚴(yán)格按順序施工，做到銜接合理，避免返工，造成材料浪費、成品受損

28）、 龍骨安裝

① 鋼板的吊頂采用65*30C型鋼作為吊頂承重的結(jié)構(gòu)；

② 底龍骨用鋼釘與地面連接，龍骨外側(cè)應(yīng)與基線平齊，底龍骨與豎龍骨間用角鋼兩側(cè)對夾，豎龍骨與墻體應(yīng)加設(shè)支撐龍骨，同時也通過平爆螺絲與房屋衍接在一起；無塵車間

③ 墻體連接用自攻螺絲，排列依據(jù)圖紙尺寸及鋼板尺寸定；

④ 按施工程序和金屬壁板安裝工藝節(jié)點具體要求進(jìn)行施工。

⑤ 地馬槽與地坪的連接必須牢固，不得松動，用射釘間隔1m左右將地馬槽固定在地面上。地馬槽之間的垂直連接處應(yīng)做好拼縫、角連接或預(yù)留出Ｒ球的位置。

⑥ 壁板與壁板連接必須平整無凹凸，縫隙均勻，注膠平整光滑。安裝時用吊線錘控制壁板的垂直度，安裝好的板材做好彼此之間的固定，防止壁板整體傾倒。

⑦ 安裝過程中不得撕下壁板表面塑料保護(hù)膜，禁止撞擊和踩踏板面。

⑧ 壁板上固定密閉窗，窗框四角鋁合金處理合縫、平整，并且在玻璃安裝之后用橡皮條將玻璃壓緊，甚至需將窗戶上部和兩邊橡皮條帶膠壓實，以防震動，橡皮條脫落。

⑨ 過濾器送風(fēng)口、回風(fēng)口，施工現(xiàn)場開孔，注意避免對壁板結(jié)構(gòu)的破壞。

⑩ 根據(jù)設(shè)計要求，潔凈區(qū)內(nèi)壁板與頂板相接形成的各個陰陽角均采用鋁合金圓弧型材連接。

29）、 鋼板與鋼板之間、鋼板與結(jié)構(gòu)（龍骨）之間都用抽芯鉚釘連接，不得與設(shè)備及設(shè)備支架、管線支架連接；

30）、 隔墻、吊頂?shù)墓潭ê偷鯍旒?yīng)與主體結(jié)構(gòu)牢固連接，不得與設(shè)備及設(shè)備支架、管線支架連接；

1 .φ80mm以下工藝管金屬壁板處采用金屬密封套，工藝管由密封套中穿過，確保穿管牢固。

2. 密封膠應(yīng)平直光滑，不應(yīng)有間隔、外露、毛邊等現(xiàn)象。

3. 壁板安裝同時要配合好電工，將接地扁鐵與地面很好接觸，以消除靜電現(xiàn)象。

4. 嚴(yán)格控制施工過程中冷橋形成，外層聚氨酯板入槽后，調(diào)教水平和平整后，對縫隙進(jìn)行聚氨酯現(xiàn)持發(fā)泡密封，杜絕冷橋產(chǎn)生。吊頂彩板斷口處，用丁鋁裝飾，面上采用聚氨酯現(xiàn)場發(fā)泡密封處理后，根據(jù)縫隙大小，酌情加與薄鋼板密封。

選址原則：無塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上[1] 。

動線規(guī)劃要點：要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運和作業(yè)的流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動線勿集中；無塵車間四周，宜設(shè)緩沖區(qū)；制造裝置的出入，不要對作業(yè)產(chǎn)生大影響。

有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣，如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時，則不能循環(huán)使用：固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機(jī)溶媒精制的原料藥精制、干燥工序；放射性藥品生產(chǎn)區(qū)；病原體操作區(qū)；工藝過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序；固體口服制劑的顆料

節(jié)能原則：無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高效率的設(shè)計和高效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中