1.不準檢查、維護保養(yǎng)處于工作狀態(tài)的半導(dǎo)體無塵車間行車

    2.半導(dǎo)體無塵車間行車在進行檢查之前要將其停穩(wěn)后而且要將電源切斷。

    3.半導(dǎo)體無塵車間行車在檢修時要將電源切斷，要將所要開關(guān)歸零。

    4.在對半導(dǎo)體無塵車間行車進行檢查時要先將防護用品穿戴好，且不能在主梁上跨越或者行走。

    5.半導(dǎo)體無塵車間行車金屬結(jié)構(gòu)件的焊接材料和焊條要符合原結(jié)構(gòu)要求；

    6.要確保半導(dǎo)體無塵車間行車所需更換的零部件與原來的零部件性能一致

    7.不能站在主梁上對半導(dǎo)體無塵車間行車進行清掃。

    8.要將半導(dǎo)體無塵車間行車移動到不影響其他半導(dǎo)體無塵車間行車作業(yè)的地方進行維修保養(yǎng)。如果沒有達到要求，要設(shè)置專人來進行監(jiān)護。

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